清华大学研发出元成像芯片:摆脱EUV光刻机,多了条新路 来源: 发布时间:2022-11-01 日前,国内芯片领域传来了好消息:清华大学突破了光学像差难题,成功研制元成像芯片。芯片设计与制造领域可能有了一条全新的突围之路。