中科院5nm光刻技术突破ASML垄断引老外热议!真相是这样 来源: 发布时间:2020-12-03 该论文的通讯作者、中科院研究员、博士生导师刘前公开回应称,这是一个误读,这一技术与极紫外光刻技术是两回事。