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EUV光刻机!ASML正式宣布,外媒:这等于是承认了!
来源: 发布时间:2022-02-17
据悉,ASML在近日正式宣布了EUV光刻机的发展路线图,其EUV光刻机的下一个重大技术变革,将会是高数值孔径系统。
绕过EUV光刻机也能造5nm芯片,新工艺打破行规,ASML万万没想到
来源: 发布时间:2021-11-01
最近,日本企业发现了新的工艺,或许不用EUV光刻机也能制造5NM制程的高端芯片。如果这个工艺成功,那么光刻机的历史将会被重写。